信息学院团队合作在压电微型超声换能器器件与应用方向上取得多项研究成果
近年来,随着先进压电材料、集成电路、微纳声学等领域的飞速发展,基于氮化铝(AlN)和氮化铝钪(AlScN)薄膜的压电微机电系统(MEMS)以其低成本、小体积和高性能而受到广泛关注。开云官网开云官网首页(中国)集团信息学院吴涛教授与多位上科大教授合作在压电微型超声换能器( Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers, PMUT)器件的理论建模、器件设计、微纳工艺,以及医学应用等方面取得了多项研究成果。 氮化铝及氮化铝钪PMUT...
2023-05-06